筆者らは，平面型誘導熱プラズマ装置の先駆けとし，プレーナー型石英容器を採用し，空芯型およびフェライトコア型コイルを用いたプレーナー型Ar熱プラズマ装置を作成している。実際の熱プラズマプロセスにおいては分子性ガスを導入する。今回，空芯型コイルを用いて，窒素ガスを導入し，平面型熱プラズマを維持する試験を行った。窒素を導入することにより，窒化プロセスへの応用が可能となる。そのときの熱プラズマトーチの上方，中心，下方のスペクトル放射強度を測定した。窒素ガスを導入すると熱プラズマのリングが明確になり，スペクトル強度が低下する。発光スペクトルは窒素分子，原子スペクトルが確認できた。