ダイヤモンドライクカーボン（Diamond-like carbon: DLC）は高硬質，低摩擦性，ガスバリア性など優れた性質を有し，主に機械部品へのコーティングとして応用展開されている。一方，DLCに導電性を付与することができれば，DLCの優れた機械的，化学的特性に導電性を付与することができれば，安価な金属薄板へのコーティングにより，燃料電池の金属セパレータに使用するなど様々な応用分野が期待できる。本研究では大気圧・準大気圧下においてグロー放電プラズマを生成し，成膜基板の温度を制御しながら成膜を行うことで，導電性DLC成膜を行う装置を開発する。講演では得られたカーボン膜のレーザラマン分光計測結果，ナノインデンターによる硬度計測結果等についても発表する。