大気圧ヘリウムプラズマジェットはその物理的な特性からがん治療や創傷治療などの医療分野における応用が期待されている。プラズマ医療応用ではプラズマにより生成される活性酸素種(ROS: Reactive Oxygen Species)が重要な役割を果たすと考えられているが、その生成や反応の機序に関しては明らかでない点も多く残されている。本研究では、プラズマジェットが伸長する対象表面を変化させ湿度・粗さ・導電率などの条件と活性酸素種の生成の関係を実験的に考察した。また同時に、放電進展機序を大きく変化させる放電電圧の極性を重要なパラメータと考え、極性を変化させた際の活性酸素種の量を比較した。これらの実験から、活性酸素種の生成には表面条件や放電極性が影響しており、活性種の効率的な生成や制御に応用できると考えられる。