低い電圧で大気圧プラズマによる排ガス処理をするには電極間距離を小さくすることができる沿面放電処理が有効である。しかし沿面放電による排ガス処理では，湿度が上ると除去率が低下するという問題がある。沿面放電による排ガス処理に急峻な立ち上がりをもつ反転パルスを利用すればこの問題を解決でき，さらに低い電圧でトルエン除去できると考える。そこで，急峻な立ち上がりをもつ反転パルスと交流を用いて除去率と放電光の観測をおこなった。