絶縁物は電気機器の信頼性を支配する部品であり劣化度を精度よく，非破壊で診断する技術が望まれている。絶縁物の化学的評価とマハラノビス・タグチ法の適用により余寿命推定技術を開発してきたが，リアルタイムで機器を監視できないことが課題であった。今回，オンライン絶縁余寿命推定システム開発の一環としてシステム構成，余寿命推定の考え方を検討し基礎データを取得した。出力特性に対するセンサの電極間距離の影響を評価した結果，2.0mmで最も安定な出力特性が得られた。センサ絶縁物を劣化させ種々の条件で抵抗を測定した結果、市販の高抵抗測定計での測定結果と良好な直線関係になり，仕様を満足する結果が得られた。