近年、多くの電気機器・電化製品の小型化・高性能化により、数〜30 μmオーダの薄膜絶縁材料の絶縁性能の評価が求められている。そのため、パルス静電応力(PEA)法は材料内の空間電荷蓄積の分布を観察できるため、絶縁特性の評価に広く用いられている。しかしながら、通常のPEA法の位置分解能は10 μm前後と100 μm以下の試料の計測には適していない。そこで当研究グループでは位置分解能の向上を図ってきた。今回、25 μm程度の薄膜材料でも測定が可能な2.2 μm程度の高い分解能を有するPEA装置の開発を行ったので報告する。