PEA法は，絶縁破壊発生までの空間電荷分布が測定できるなど他の空間電荷分布測定法と比較すると優れた点がある。空間電荷分布の測定結果から試料内部の電荷は電極からの注入電荷であることが考えられる。したがって，空間電荷分布の測定結果は，試料と電極の組み合わせとして考えなければならない。半導電電極と試料間の電位障壁は，半導電電極内の導入された導電性材料にも依存することになる。通常のPEA測定装置の上部電極をいくつかの金属電極に交換できるようにし，半導電電極を用いた場合の空間電荷分布の違いを調査した。