カーボンナノフィラメント(Carbon Nanofilament: CNF)は炭素原子からなるナノスケール線材の1つである。針状炭素対と呼ばれる二つの針状の炭素の間にCNFが1本のみ架橋している炭素生成物がある。この生成物の特異な形状から、基板間での相互作用の少ない高感度センサデバイスといった応用が考えられる。針状炭素対の生成には触媒金属が必要なため、金属メッシュをマスクとして用い、触媒金属の堆積箇所制限を行い、針状炭素対の生成位置の制御を実験的に試みた結果について報告する。