電気学会全国大会講演要旨
2-098
マイクロスケール構造を作製したSi基板上へのグラフェン膜の作製
◎寳井義之・土井和誠・杉井丈倫・加藤ひとし・竹村 進・平松友康(関東学院大学)
炭素の同素体として、フラーレン、カーボンナノチューブ、グラフェンがあるが、同じ炭素原子から成る物質でも結合の仕方によっては様々な性質を持ったものになる。グラフェンの研究は1940年代から行われていて、2004年にA.K.Geimらがスコッチテープにグラファイトのかけらを貼り付けて剥がすことでグラフェンを採取する実験に成功している。グラフェンは電気的、熱耐的、化学的にも優れた性能を持っていることがわかっており、次世代の電子デバイスに応用できると期待され研究が盛んに行われている。本研究では、集束イオンビームを用いてSi基板上にマイクロスケールの構造を作製し、高配向熱分解黒鉛を用いてドローイングを行いグラフェンの作製を試みた。