デジアナ混載I C に流れる微細な信号配線によって作り出される高周波磁界を、高分解測定可能な測定法としてBeating field 方式高周波MFMを提案し、電磁干渉問題理解への手段を考案した。今回はCPW上に発生するBeating fieldによる高周波近傍磁界を発生させ、MFM探針の振動振幅値の搬送波周波数依存性について検討を行った。 その結果、振動振幅値は7.0GHz以下のすべての搬送波周波数で観測されGHz帯での高周波近傍磁界が測定できることを示唆するものとなった。ただし2箇所の周波数で極大となっており測定系の一部がGHz対応になっていないところがあるものと考えられる。