電気学会全国大会講演要旨
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スパッタネオジム磁石膜のレーザアシスト微細着磁
◎藤原良元・進士忠彦(東京工業大学)・加沢エリト(東京都立産業技術センター)・上原 稔(日立金属)
ネオジム鉄ボロンとタンタルを交互にスパッタ成膜した,厚さ数マイクロメートルの磁石膜を利用した高性能マイクロリニアモータの実現を最終目的としている.本報では,リニアモータの高性能化に必要不可欠な,微細ピッチでの着磁実現を目指し,レーザの瞬時,および,局所加熱により保磁力を低下させた部分を,バルクの永久磁石で十分発生可能な,比較的小さな外部磁場により着磁する,レーザアシスト微細着磁法を提案,実証した.本着磁法により,0.1mm間隔でN極とS極が,垂直方向に繰り返すストライプ状の微細着磁を実施し,理想的な着磁を模擬した磁場シミュレーション結果に比べ,概ね同等の表面磁束密度を確認した.