半導体式ガスセンサは、酸化物半導体をガス感応膜とし、周囲環境変化に伴う酸化物半導体のインピーダンス変化によりガスを検知するセンサであるが、ガス感応膜となる酸化物半導体の形成は焼結や熱酸化等のMEMSへの適合性が高くないプロセスが用いられている。ガス感応膜である酸化物を反応性スパッタリング法により形成することができれば、より柔軟なMEMSプロセスを適用することが可能になる。一方で、酸化銅を含有する酸化物が二酸化炭素に対する感度を有することが知られているため、反応性スパッタリング法によりガス感応膜を形成した。その作製と二酸化炭素感度について報告する。