Si神経プローブは光導波路、マイクロ流路、電気回路との組み合わせが容易な為、広い用途で使用されている。しかし、Si神経プローブを脳に刺入する際に血管や他の生体組織が損傷して神経プローブの電極から記録される信号の質が低下する問題が指摘されている。今回、我々はSiの異方性エッチングを利用することで神経プローブを尖鋭・小断面積化した。作製した神経プローブのインピーダンス特性を調べたところ、1000 Hz時のインピーダンスが6.4×105 |Z|Ωとニューロンの活動電位を取得するのに適した電気特性であることを確認した。講演では神経プローブの刺入特性と生物実験の結果について述べる。