回路形成面に垂直に対象を接触させる触覚センサは,その構造上ストロークが短いことや,接触対象物表面の微細な凹凸による圧力変化の検知性能が乏しいといった点があり,繊細な手触り感の評価を行うのは困難である。本研究では,大ストロークかつ微細な凹凸にも対応する新構造の触覚センサを開発し,対象の手触り感評価を目指す。本センサは対象と接触させる接触子と,それを支えるサスペンション，接触子のオーバーレンジストッパの機能を含むチップのフレーム部分で構成される。サスペンション上は拡散層によるピエゾ抵抗を形成しており, 検出回路で変位を検出する。本稿ではMEMS横型触覚センサの構成を新たに提案し，その製作について報告する。