P(VDF/TrFE)薄膜を圧電体薄膜として使用したMEMS超音波センサを作製した。センサ上に作製したP(VDF/TrFE)薄膜は、良好な強誘電特性を示した。作製したMEMS超音波センサの受信感度特性を評価した結果、センサ感度が36µV/Pa, 共振周波数が181kHz、Q値が18である。P(VDF/TrFE)圧電薄膜は、圧電出力定数g31が大きく、ヤング率が小さく、音響インピーダンスが小さいため、構造を最適化していくことにより、感度向上が可能であると考えられる。