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3軸MEMS加速度センサの実装手法に関する研究
◎大村義輝・藤吉基弘・明石照久・野々村 裕・船橋博文・畑 良幸（豊田中央研究所）・山田 整・中山貴裕（トヨタ自動車）
自動車、ロボット用途を目指した3軸加速度センサを開発している。当社のオリジナルのジグザグ電極構造による高精度なZ方向差動検知が特長である。センサの温度特性向上のため、センサ素子の実装法と零点安定性との関係を実験により求め、その要因をFEM解析により解明した。この結果、センサの零点温度変動を抑制できる実装手法に関して、知見が得られたので報告する。