本研究ではポリマーMEMSに用いるポリマー材の疲労特性を評価することを目的に、静電容量型MEMSデバイスを作製し、その評価を行った。疲労試験デバイスとしてアクチュエータ部と試験片部を持つ構造を作製する。切欠きを持つ試験片部によって両側に櫛歯アクチュエータを持つ扇形のマスが支持されている。ホットエンボスに接合プロセスを組み合わせてデバイスを作製した。作製したデバイスは140 V、4.7 kHzの交流電圧を印加して駆動させ、1.7×10^7回後停止した。これは、疲労により試験片部に亀裂が入ったことによりデバイスの扇形部を支えられなくなり、櫛歯がうまく噛み合わないことで静電力が発生しなくなったためである。