本研究で開発したシャックハルトマン装置を使用し、真空アーク放電内の二次元電子密度分布測定を行った。 絶縁破壊後10usにおいては、電極間に10^{21〜22}m^{-3}の電子密度が存在しており、電子密度はガス中アーク同様、ギャップ中心付近よりも電極近傍で高くなっていた。