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試料よりも厚い圧電素子を用いた空間電荷分布測定(3)
○福間眞澄(松江工業高等専門学校)
著者らはPEA法を用いた空間電荷分布測定装置の開発を行っており,今回,薄い試料の空間電荷分布について装置の試作を行った。著者は文献にある薄い圧電素子を製作する技術を有しないことから,試料よりも厚い圧電素子を利用する方法で装置の製作を試みた。本報告では,フィルムコンデンサに利用されている厚さ18μmのポリプロピレン(PP)フィルムに±1.5kVの極性反転電圧を印加して,試作した装置の性能について調査を行った。