現在、Si太陽電池の変換効率は20%程度が限界である。変換効率の制限要因にはSi太陽電池の分光感度特性と太陽光のエネルギー分布との不一致がある。我々は今までに太陽光に多く含まれる短波長光をSi太陽電池の分光感度が高い長波長光に変換する赤色蛍光体材料に注目してきた。赤色蛍光体膜をSi太陽電池表面に作製して短波長光を長波長光に変換し、Si太陽電池に供給する。これまでに、蛍光強度、透過率、粒子密度の高い赤色蛍光体ナノ粒子薄膜一層の作製ができているが波長変換はほとんど観察されなかった。今回は蛍光体ナノ粒子薄膜の多層構造の作製を行い、粒子密度の増加方法について検討する。