CIS太陽電池はセレン化法が最も大面積を安価に作製することが可能でセレン源にはガスソースであるH2Seを用いたものが多い。しかし結晶品質があまり良くなく、変換効率も高くない。そこで我々はまずInのセレン化に関して、Seの供給源をガスソースのH2Seではなく、Seの供給量を細かく制御できる金属Se蒸気を用いてセレン化を行い結晶性について評価を行った。H2Seを用いる場合と比較すると処理温度が500℃を超えるとInの脱離が見られInSe系化合物が作製できなかった。また、低温時の処理では処理時間が長くなるにつれSe分子量が少ないものから多いものへとInSe系化合物が変化していくことが確認された。