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鉄系メタルコンポジット材料磁心平面スパイラル積層型インダクタの特性解析
◎近藤雄太・矢崎裕一朗・佐藤敏郎・曽根原 誠(信州大学)
近年,LSI等の集積回路は,低電圧・大電流駆動となっており,電源-LSI間の配線損失の増大が問題となっている.この配線損失の低減のため,電源をLSI近傍に配置する方式が取られており,パッケージレベルでパワーインダクタを実装したDC-DCコンバータが試作されている.本報告では,このようなDC-DCコンバータをLSIパッケージに集積するPLPG(Package Level Power Grid)の確立のために,導体ライン断面のアスペクト比が1:1の厚膜円形コイルの利用,及びコイル積層による,インダクタンス値の向上,高Q値を期待して,CIP/エポキシ複合材料を磁心に用いた,有機インターポーザ内臓平面スパイラル積層型インダクタを提案し,その特性解析の結果について述べる.