真空中の耐電圧を向上させるスパークコンディショニングの特性の把握が重要である．本論文では，棒‐平板電極系による不平等電界下において，陽極材料をSUSと銅とし，陽極材料がコンディショニング効果に与える影響について実験的検討を行った．その結果，陽極をSUSとした際には，放電電荷量の増大に伴い絶縁耐圧が低下するのに対し，陽極を銅とした際には上昇した．また，陽極をSUSとした際には陰極表面に大きな溶融が起きていた．以上の結果から，陽極材料の違いにより，異なるメカニズムで絶縁破壊が生じたため，異なるコンディショニング特性が得られることを明らかにした．