不透明な塗膜下で生じる鋼材腐食に対しては，鉄錆がTHz波を強く吸収する性質を利用し，THzイメージングにより非破壊で明らかにできる。ただし，塗装等に使われている塗膜の経年劣化において，表面の光学特性に変化が生じる上，表面あれが生じる。これらは上記THzイメージングデータに影響をおよぼす。本研究では，モデル試料としてのエポキシシートを用い，THz波の反射パルスを周波数解析し，上記表面あれ等を評価した。表面と裏面の反射エコーが重なりあい，周波数解析に影響をおよぼすことから，デコンボリューション処理によりこれを除去した。