狭ギャップ電極系による大気圧非平衡プラズマの生成では、電極表面とプラズマの接触面積に対するプラズマ体積の比が大きく、電極とプラズマの相互作用を利用して化学反応性の強いプラズマを生成できる可能性がある。本研究では、間隔5〜10μmの狭ギャップ電極系に短電圧パルスを印加して大気圧非平衡プラズマを生成し、それをポリエチレンテレフタレート（PET）の表面に照射することによって表面を酸化させた。プラズマ処理したPETの表面状態をX線光電子分光法（XPS）で分析し、本研究で生成したプラズマをPET表面酸化プロセスへ適用した場合の有効性を確認した。