上下水処理をはじめとする産業用途のオゾン発生器には，純酸素や空気を原料とした誘電体バリア放電(DBD)が使用されている．空気原料の場合，オゾン発生器周囲の空気を利用することで装置を小型化できる反面，放電により生じる窒素酸化物がオゾンの生成を阻害するため，オゾン収率は低い．そこで，収率向上を図るため，オゾンと窒素酸化物の生成過程を調査する必要がある．本研究では光吸収方法を用いて，空気原料型オゾン発生器内部のオゾンと窒素酸化物の密度分布を調査することを計画している．本報告では，模擬空気を原料としたDBD型オゾン発生器の出力ガスを，フーリエ変換赤外分光光度計(FT-IR)で分析した結果を述べる．