Siナノ粒子は太陽電池材料，医療用発光材料およびリチウムイオン電池用の高容量負極材料として期待されている。産業応用上，Siナノ粒子を大量に生成する手法の確立が強く望まれている。筆者らは，これまでに独自手法「原料間歇供給を伴う変調誘導プラズマ」を用いてSiナノ粒子を大量に生成可能であることを見出している。 本報告では，パルス変調熱プラズマに，Si原料粉体を連続的または同期間歇的に供給した場合の生成粒子を比較し，粒径および生成量への影響を検討した。その結果，原料を同期間歇供給した方が，平均粒径は低下することを確認した。また，Siナノ粒子の生成レートは，連続供給では72 g/hであったのに対し同期間歇供給では100 g/hに増加することを確認した。