シリカナノ粒子は半導体ナノ材料の1つとして幅広く応用が進められており、化学的に安定であることや粒子帯電を利用した吸着特性に着目し、ナノ粒子材料を用いた新たな治療技術として皮膚炎症の原因物質のタンパク質の一種であるシトクロムCの吸着現象が確認されている。 よく知られているゾルゲル法を用いる場合、粒子を単体分離するためには遠心分離などが必要となるが、気相での合成を行うことで直接的なナノ粒子合成が可能となる。本研究では気相でのナノ粒子合成研究を進めるため、大気圧マイクロ波プラズマを用いてシリカナノ粒子の合成を行い、実験条件を変えて合成したシリカナノ粒子の粒径や形状の評価を行った。