従来から沿面放電は電力設備等で発生すると重大な事故を引き起こす要因となるため放電を抑制する研究が多くなされてきたが、近年では沿面放電の伸展しやすさや低い電圧での放電が可能であることから様々な研究に応用されている。しかし、発生させる放電形態や雰囲気ガスによって放電の発生や消滅の過程は異なる。そこで本研究では誘電体上に平板電極を2枚平行に設置し、電極間にパルス電圧を印加することで誘電体上に沿面放電を発生させ、放電発光を観測した。放電路制御のため、本実験で使用した電極系には背後電極を設置した。本実験では放電発生に伴う発光を観測し、放電発生から放電路形成に至るまでの過程を計測した。