電力機器の絶縁診断技術において、部分放電(PD)によるUHF帯の放射電磁波を測定するUHF法が広く適用されている。この絶縁診断技術の高度化には、絶縁破壊の前駆現象であるPD現象自体の理解とともに、PD現象とその放射電磁波の関係の理解が必要である。また、この理解にはPD電流パルス波形の正確な測定が重要となる。我々はこれまでに構築したSHF帯までの周波数応答を持つ装置(SHF_PDPW装置)を用いて、絶縁油中PD電流パルス波形を測定し、油中脱気状態や粘度がPD電流波形に及ぼす影響などの検討を行っている。本論文では、フッ素系不活性液体、鉱油およびシリコーン油におけるPD電流特性について検討した。