ナノ秒パルス放電は，高効率でのオゾンの生成やNOx除去に寄与する化学的活性種生成が可能なプラズマ生成法である。ナノ秒パルス電源の一つとして，静電誘導サイリスタ(Static Induction Thyristor : SI-Thy)を用いた誘導性エネルギー蓄積型電源装置がある。SI-Thyは電流，電圧の耐性値が高く，スイッチング速度が高速であるため，短パルス電圧発生素子に適している。そこで本実験では，SI-Thy電源回路における負荷特性について調べ，本電源の性能を評価した。パルス電源のMOS-FETのオン時間(充電時間)を1.5，3.0，4.5sとし，負荷端に接続した負荷抵抗値を0.1〜44kΩの間で変化させて負荷特性を評価した結果，エネルギー転送効率は，負荷抵抗3kΩ付近で最大値45%となった。