本論文では，超純水の雷インパルス電圧に対する絶縁破壊特性について調査を行った。純水の絶縁破壊電圧は、抵抗率が高くなると共に高くなり、2.5mmギャップ長で18.2MΩ･cmの抵抗率では約90kVで破壊することが分かった。また、破壊電圧破壊は、雷インパルス電圧のピーク電圧を示す時間より5μs以上遅れて発生している。そして、破壊時には雷インパルスの電圧が徐々に低下してから急激に電圧が零に近づく。そして、場合により途中で振動する波形を示す場合があることが分かった。