マイクロギャップにおける放電を議論する場合、電極材料の文献値を用いて種々の値を計算し、実験値と比較して議論されることが多い。しかし、大気に触れた状態で保存された電極材料やウェハは酸化等により物性に変化が起こっていると考えられる。そこで実際の実験における電極材料やウェハの物性の変化を考慮に入れるため、常温・大気中で保管されたウェハ上の電極における仕事関数の計測を行った。