DLC薄膜はレーザアニールによりダイヤモンド化することが期待されていることから，我々はDLC薄膜のバンドギャップ0.8〜3.3 eVからダイヤモンドの5.6 eVまでレーザの照射条件によって制御できるのではないかと考えている。 本稿ではDLC薄膜の電気，光学的特性を改善するために，DLC薄膜に対しレーザアニール処理を行い，アニール処理後のDLC薄膜の特性改善を実験的に検討した。 DLC薄膜はイオン化蒸着法により成膜され，Nd:YAGレーザ（波長 355 nm，パワー密度 3.0W/cm-1）でアニール処理を行った。顕微ラマン分光測定結果により成膜後のD-peakとG-peakの強度比ID/IG は0.29であり，アニール後はID/IG = 0.75と確認できた。このことから，レーザアニールによってDLC薄膜中のダイヤモンドが支配的となることが確認された。