電気光学効果素子への応用に向けてZnMgTe/ZnTe光導波路を作製している。今回、導波光の伝搬損失を抑えるためにリッジ加工を試みた。しかし、硫酸系エッチャント用いた場合エッチング後の表面に残留物が確認された。そこで、フッ酸系エッチャントと塩酸による残留物除去法(リンス)に注目し、ZnTe基板を用いて硫酸系エッチャントとのエッチングの比較を行った。また、エッチャントの混合比を変えエッチング速度との関係を調べた。 フッ酸系エッチャントに対して塩酸リンスを行ったところ、エッチング表面から残留物が除去され、硝酸が多いほどエッチング速度が速くなることが明らかになった。これらよりリッジ型光導波路作製への知見を得ることが出来た。