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DES浴から作製したFe-Coめっき膜の成膜速度の向上に関する研究
◎秋吉俊貴・江口和樹・東 圭太・白石洸太郎・渡邊佳正・柳井武志・中野正基・福永博俊(長崎大学)
深共晶溶媒(DES: Deep Eutectic Solvent)は,水には無い多くの工業的特長を有していることから,めっき膜作製における新規溶媒として期待されている。これまでに我々は,DESを用いためっき浴からFe基軟磁性膜を高い電流効率で作製可能であることを示してきた。膜状磁性体の工業的応用を鑑みると,高い成膜速度を有するプロセスが有利であり,めっき条件である電流密度・電流効率は,成膜速度に大きな影響を与えるパラメータである。本稿では,DES浴から成膜したFe-Co系膜の成膜速度の向上に関して電流密度,浴条件の影響を検討したのでその結果を報告する。