P(VDF/TrFE)を用いたMEMS超音波センサのセンサ形状と共振周波数の関係を，試作実験を行い考察した。円形型センサのダイアフラム直径は0.54 mmから1.06 mmまで作製した。ダイアフラム直径が0.64 mmから0.75 mmまでは共振周波数の実測値と計算値がほぼ一致した。ダイアフラム直径が0.54 mmと 0.86 mm以上では実測値が計算値より小さくなった。この原因の一つには残留応力の影響が考えられる。今回の試作実験により得られたセンサの共振周波数とダイアフラム直径との関係を用いて，任意の共振周波数のセンサを設計することがある程度可能と思われる。