近年，静電気の発生による障害の対策として，静電気センサの開発が行われている。人が物に接触・摩擦する際にも微小ながら静電気が発生する。そして，静電気の発生・帯電の特性は材質の表面形状や表面状態に依存していることが知られており，この接触・摩擦の際の微小な静電気を物体判別に用いることが可能であると考えられる。そこで本研究では，MEMS技術を用いて，物体判別を目的とした高感度の静電気センサの開発を目指す。 本研究においては，センサ電極を自動アライメントによってSiウェハ面外に垂直に実装する技術で電極の大面積化を実現している。本稿においては，高感度静電気センサの提案および製作について報告を行う。