近年モバイル機器は小型化が進み，それらを構成する素子も同様に小型化と省電力化が求められている．Electret-MEMS(以下E-MEMS)変圧器は，LSIプロセスで作製するため小型化が容易であり，高いバイアス電源なしで変圧が可能であるため省電力である．我々はこれまでにカリウムイオンを用いたエレクトレット膜形成法によりE-MEMSの開発を行い，3端子櫛歯構造で変圧が可能であることを実証した．そこで本研究では動作方程式を導出し，その理論を基に設計，シミュレーションを行い，共振周波数の1kHzでほぼ100％という高いエネルギー効率で変圧が可能なデバイスの設計することができた．今後の展望としてデバイスの製作及び評価を行うこととする．