本研究では、単純な構造で、低コストかつ、小型化が容易な金属酸化物半導体ガスセンサを作製し、1[ppm]程度の低濃度で検知できる高い感度とガス選択性を示すNH₃ガスセンサの開発に成功した。また、センサ膜の素材としてはNH₃に対して感度が高いことが報告されているWO₃を採用した。また、触媒として同じくNH₃に対して感度が高いことが報告されている白金(Pt)およびパラジウム(Pd)の両方をそれぞれ、1[wt%]添加した。