本研究では、次世代MEMS用材料として期待されるマイナーメタルに注目し、熱反応性イオンエッチング法によるそれらの加工特性の評価を行った。通常のRIEでは、加工時に発生する不揮発性の反応生成物のためにマイナーメタルは難加工性材料であるが、本研究室で開発した手法により大幅に加工特性が向上した。 例えば、SF₆ガスを使用しステージ温度を255℃にした場合、チタンとニオブの加工速度は、約3倍と約2倍へと大きく向上していることが分かった。モリブデンとニオブの加工断面は、ほぼ垂直になることが分かった。なお、本手法ではステージ温度の微調整により、加工特性の調整が可能である。