マイクロ領域で精度よく加工を行うことを目指して低温大気圧プラズマデバイスやマイクロフレームデバイスの開発が行われてきた。マイクロフレームの研究では高流速や複数流路において個々の火炎での独立制御を行うことが困難である。ガス供給口と火炎出射口を独立して設けることで，独立した微小なマイクロフレームを発生させることができる。これにより，削孔，切削，熱処理といった表面処理や熱加工を高い精度で行うことができる。さらに，このマイクロフレーム発生デバイスをアレイ化し，かつ独立制御を行うことで，加工対象の表面に温度分布を形成し，微小な領域を選択的に燃焼させることが可能である。 本研究では，MEMS技術を用いてマイクロフレームの発生可能なデバイスの製作し，加工物に対し高温で微細加工を行うことを目的とする。