静電駆動型MEMS光スキャナはレーザープロジェクター、共焦点内視鏡など様々な機器に適用可能であるが、温度によってその振動特性が変化するという問題がある。本研究では、静電駆動型マイクロスキャナの振動依存性の測定結果について報告する。静電駆動型マイクロスキャナ単体の温度依存性を測定するため、静電駆動型マイクロスキャナのみを加熱し、その他の実験装置は室温で評価した。その結果、固有振動数とQ値は温度が高くなると低下し、その変化率は固有振動数が－0．065／℃、Q値が－0．44／℃であった。