3-152
LSI回路基板上に集積した可変単結晶シリコン回折格子の製作
◎鈴木智大・佐々木 敬（東北大学）・松浦 寛（東北学院大学）・羽根一博（東北大学）
MEMSタイプの空間光変調器は液晶タイプと比較し、偏光依存性が無いことや応答速度が速いことなどの特徴があり注目されている。空間光変調器のピクセル数は、精密な光の制御を行うため多いほうが好ましい。現在までにLSI回路基板上にMEMS空間光変調器を集積したデバイスが報告されているが、報告は数件で非常に少ない。今回我々は提案した製作プロセスを用いてLSI回路基板上に集積した厚さ260nmの単結晶シリコン可変回折格子を製作し、可変回折格子の駆動に成功したので報告する