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低ノイズ・高効率なスーパージャンクションMOSFETの開発
◎前田 涼・菅井 勇・坂田敏明・新村 康・竹野入俊司・皆澤 宏・渡邉荘太・島藤貴行(富士電機)
低損失・低ノイズ化を実現する次世代SJ-MOSFET(Super J MOSⓇ S2、以下S2)を開発したので、その特性について報告する。S2のRonAは当社従来製品(Super J MOSⓇ S1、以下S1)と比較して25%低減している。また、S2ではスイッチング時の電圧変化を、デバイス内部に設けたゲート抵抗とSJ層の濃度分布により決定される容量成分によって制御することで、S1と比較して低いEMIノイズ特性と高効率を実現した。