電気学会全国大会講演要旨
6-042
サブストレートヒューズにおける並列遮断点効果の要因に関する検討
○庄司晴紀・山納 康(埼玉大学)
サブストレートヒューズとはセラミック基板上にヒューズエレメントを形成したものである。このヒューズにおいて,遮断部を並列に分割し,並列遮断点数を増やすことによって,遮断特性が向上することが確認されている。この並列遮断点数の増加による遮断特性の向上効果をP効果と呼ぶ。また,精密電鋳技術を応用し,微細な遮断部が形成された微細加工ヒューズエレメントを製作し,その遮断特性を調査したところ,P効果には限界があることが確認できた。本論文では,遮断部をエレメントの中心方向に寄せ,隣り合う遮断部の間隔を変化させることで,P効果の要因を追求した。P効果は,発孤時の隣接するアークにより影響されることが示唆された。