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ポスターセッション発表概要
0.18μm CMOSプロセスにむけた準ミリ波帯対応RFセルライブラリの開発
○川原 啓輔,楳田 洋太郎,高野 恭弥(東京理科大学),原 紳介(情報通信研究機構)
レガシープロセスであるROHMの0.18μm CMOSプロセスにむけて,準ミリ波帯(~30GHz)対応のRFセルライブラリを開発した.ライブラリにはインダクタ,トランス,RFパッド,伝送線路,nMOSFET,デカップリングキャパシタ等が含まれる.これらのデバイスはPCell(Parameterized Cell)や予め用意されたCellを用いて簡単にレイアウトできる.また30GHzまでの周波数において実測データに対して精度良くフィッティングしたデバイスモデルも開発した.加えて複数の伝送線路を用いて高い精度で校正を行った電磁界解析用のプロセスファイルも作成した.
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