我々は従来のロボットや人間では作業が困難な、精密機器内部や配管内など狭小空間での作業を想定したマイクロロボットの研究を行っている。我々は今までにMEMSの微細加工技術を応用して全長10 mm未満の歩行型マイクロロボットを開発している。マイクロロボットの歩行制御にはCMOS 0.35 µmおよび0.8 µmプロセスで設計したニューラルネットワークICを用いている。CMOSとコンデンサで構成されたアナログ電子回路で生物の神経回路網を再現し、形状記憶合金アクチュエータを駆動することで生物を模倣した歩行を行う。本発表ではニューラルネットワークIC搭載型マイクロロボットの開発状況について述べる。