180nm CMOS技術による超小型医療用発汗モニタリングシステム
○坂田 天来,三谷 勇介,宮地 幸祐,金子 怜史,上倉 宇晴,滝 英俊(信州大学),百瀬 英哉(株式会社スキノス),上口 光(信州大学)
ヘルスケア応用において,あらゆる場面での発汗量計測の需要が高まっており,その計測器の小型・軽量化が要求されている.そこで,CMOS技術を用いて集積回路化することでこれを解決する.提案システムでは,高湿度でも精度が得られる静電容量型湿度センサを用い,この容量値の変化を計測する容量-デジタル変換器を実現した.また,相対湿度から発汗量に対応する絶対湿度を求めるために必要な温度センサも一つのチップに集積した.180 nm CMOS技術で設計したICチップは1.7 mm^2 で実現されており,専用ボードとFPGAを用いて計測し,検証した結果,提案した超小型発汗計は現行のデスクトップ型とほぼ同等の計測精度を達成したことを確認した.